在潔淨室中，向空氣供應離子以中和晶圓與設備帶電的裝置是下列何者？

正確答案：B. 離子產生器（除靜電裝置）

在乾燥的潔淨室中容易產生靜電，帶電的晶圓與光罩會吸引微粒，也可能因靜電放電而損傷元件或光罩的圖案。離子產生器以電暈放電等方式產生正負離子並供應到空氣中，中和物體的帶電。對於無法接地的絕緣物，尤其有效。ULPA濾網用於去除粒子，洗滌塔則用於清洗排氣。