不可徒手觸碰晶圓的主要理由為何？

正確答案：A. 因為皮脂與汗水中所含的鈉等會污染晶圓，損害元件的特性與可靠度

手上的皮脂與汗水含有有機物以及鈉等鹼金屬。鈉會成為在氧化膜中移動的可動離子，使電晶體的臨界電壓變動，有機物則會造成成膜與接合的不良。因此晶圓要以專用的手套、鑷子、搬運機器人等來處理。即使戴著手套，也不碰晶圓的表面，只處理邊緣。

• A. 正確。皮脂與汗水的成分會成為污染源。
• B. 矽不會被體溫熔化。
• C. 指紋不會改變晶體方向。