無塵室與製造設備
下列關於ISO 14644-1潔淨度等級的說明，何者正確？
- A數字越大，潔淨度越高
- B不是由粒子的數量，而是由粒子的重量決定
- C等級數字N每小1，容許的粒子數大約變為十分之一
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正確答案：C. 等級數字N每小1，容許的粒子數大約變為十分之一
在ISO 14644-1中，ISO等級為N時，每1 m³中0.1 µm以上粒子的上限規定為10的N次方個（其他粒徑的上限也由公式決定）。例如等級5為10萬個，等級4為1萬個，數字越小，潔淨度越高。它是由個數濃度決定，而不是重量。在先進的工廠中，晶圓所接觸的空間要求約為等級1～3。
- A. 數字越小，潔淨度越高。
- B. 由粒子的個數濃度決定。
- C. 正確。每差1個等級，粒子數的上限就相差10倍。