下列何者最接近潔淨室一般的溫度設定值？

正確答案：B. 約23 ℃

潔淨室的溫度，考量到穿著無塵衣的作業人員的舒適，以及設備與製程的穩定性，一般設定在23 ℃左右。重要的不是數值本身，而是變動要小，一般區域控制在±1 ℃左右，曝光機周邊等則控制在±0.1 ℃以下。5 ℃或40 ℃的環境人員無法長時間作業，設備的精度也無法維持。