在曝光機等精密設備中，用來抑制由地板傳來的振動影響的是下列何者？

正確答案：A. 防振台（主動式防振裝置等）

曝光機與電子顯微鏡等精密設備，即使只有些微振動，精度也會下降。因此會將其設置在防振台上，例如利用彈簧、空氣彈簧，或以感測器偵測振動後施加反向力來抵消的主動式防振裝置。工廠的廠房也以厚地板與粗柱子設計成振動較少的結構，幫浦等振動源則放在另一層樓板。加濕器與FOUP都不是振動對策的設備。