在製造設備前面，打開FOUP的蓋子，並在潔淨環境下將晶圓搬入設備內的單元是下列何者？

正確答案：C. EFEM（含裝載埠與搬運機器人的設備前端模組）

EFEM（Equipment Front End Module，設備前端模組）是將放置FOUP的裝載埠、開蓋機構、取出晶圓並搬入設備內的機器人等，收納在以FFU保持潔淨的空間中的模組。它能讓晶圓不接觸外部空氣，就在設備與FOUP之間傳遞，是微環境的關鍵。OHT負責設備之間的搬運，ULPA濾網負責空氣的淨化。