無塵室與製造設備
在300 mm晶圓的工廠中，沿著天花板軌道在設備之間自動搬運FOUP的系統是下列何者？
- A以人力推車搬運
- B僅靠輸送帶搬運
- COHT（天車式無人搬運車）
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正確答案：C. OHT（天車式無人搬運車）
裝有25片300 mm晶圓的FOUP重約8 kg，以人力搬運負擔大，也有發塵與掉落的風險。OHT是行駛在天花板軌道上的搬運車，會將FOUP吊起，自動運送到設備的裝載埠（load port），地板空間便可用於作業與設備。它是整座工廠自動搬運系統（AMHS）的核心設備，大型工廠中有數百台以上在運行。