從天花板的一部分吹出潔淨空氣，與室內空氣混合稀釋以維持潔淨度的潔淨室方式是下列何者？其潔淨度低於單向流，但設備費便宜。

正確答案：A. 非單向流（亂流）方式

非單向流方式，是從天花板的出風口送入潔淨空氣，與室內空氣混合、稀釋粒子後再排出。所需風量較少，設備費與運轉費便宜，但可達到的潔淨度低於單向流方式，用於ISO等級6～8左右的區域。在半導體工廠中，用於後段製程、前室，以及微環境外側的區域等。

• A. 正確。是將空氣混合來稀釋的方式。
• B. 下吹流是從天花板整個面單向流向地板的方式。
• C. 微環境是只讓晶圓周圍的狹小空間潔淨的概念。