無塵室與製造設備

下吹流方式的潔淨室中,一般從天花板吹出的風速大約是多少?

  1. A約30 m/s
  2. B約0.3~0.5 m/s
  3. C約0.001 m/s
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正確答案:B. 約0.3~0.5 m/s

在下吹流方式的潔淨室中,從天花板吹出約0.3~0.5 m/s左右的緩慢單向氣流。風速太快,會在人員與設備周圍產生亂流而捲起粒子;太慢,則會敵不過熱造成的上升氣流等,無法充分帶走粒子,所以要保持適當的風速。30 m/s相當於颱風等級,0.001 m/s則幾乎感覺不到空氣在流動。

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