HEPA濾網與ULPA濾網的差異：捕集效率定義、規格等級、MPPS、使用的無塵室比較
HEPA濾網與ULPA濾網都是把細玻璃纖維等濾材摺成褶狀的高性能空氣濾網，裝在無塵室天花板或 FFU 上，去除空氣中的微粒。差別在於捕集效率。日本 JIS 的用語定義（JIS Z 8122）規定，在額定風量下，HEPA 對粒徑 0.3 µm 的微粒捕集 99.97% 以上，ULPA 對 0.15 µm 的微粒捕集 99.9995% 以上。歐洲的 EN 1822-1 則以最易穿透粒徑（MPPS）下的效率分級，H13、H14 屬於 HEPA，U15～U17 屬於 ULPA。ULPA 能捕集更多微粒，但在相同風量下壓損較大、價格也較高，因此依所需的潔淨度選用。
| 項目 | HEPA濾網 | ULPA濾網 |
|---|---|---|
| 名稱的意義 | High Efficiency Particulate Air（高效率微粒空氣濾網） | Ultra Low Penetration Air（極低穿透率空氣濾網） |
| JIS 的定義（JIS Z 8122） | 額定風量下，對粒徑 0.3 µm 的微粒捕集 99.97% 以上 | 額定風量下，對粒徑 0.15 µm 的微粒捕集 99.9995% 以上 |
| EN 1822-1 的等級（MPPS 下的整體效率） | H13：99.95% 以上，H14：99.995% 以上 | U15：99.9995% 以上，U16：99.99995% 以上，U17：99.999995% 以上 |
| 穿透的微粒比例 | H13 為 0.05% 以下，H14 為 0.005% 以下（每 1 萬個 5 個、每 10 萬個 5 個） | U15 為 0.0005% 以下（每 100 萬個 5 個）。等級每升一級降為 1/10 |
| 最易穿透粒徑（MPPS） | 依濾材而異，一般約 0.1～0.3 µm。較大的微粒容易因慣性與攔截被捕集，較小的微粒容易因擴散被捕集 | 原理相同，一般約 0.1～0.3 µm。濾材較緻密，即使在此粒徑穿透也較少 |
| 壓損與成本 | 相同風量下壓損較小，較容易壓低風扇耗電與價格 | 相同風量下壓損容易較大，風扇耗電與價格增加 |
| 使用之無塵室的參考 | ISO 等級 5～8 左右的區域、手術室、製藥廠等。半導體廠中也用於潔淨度較寬鬆的區域 | ISO 等級 4 以下（更潔淨）的區域，以及半導體廠設備的微環境等特別要求潔淨度的地方 |
| 無法去除的物質 | 氨、有機物等氣態分子汙染（AMC）。需另外搭配化學濾網 | 同樣無法去除氣態分子汙染。若玻璃纖維濾材釋出的硼造成問題，會使用低硼濾材或 PTFE 濾材 |
數值為具代表性的大致參考值，會因世代或產品而異。