無塵室與製造設備
潔淨室的潔淨度,一般是以什麼來表示?
- A空氣中單位體積內所含、一定大小以上的粒子數量
- B室內的溫度與濕度
- C照明的亮度
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正確答案:A. 空氣中單位體積內所含、一定大小以上的粒子數量
潔淨室的潔淨度,是以一定體積空氣中所含、某個大小以上的粒子數量來表示。在國際規格ISO 14644-1中,依每1 m³的粒子數分為等級1~9,數字越小越潔淨。例如等級5是每1 m³中0.1 µm以上的粒子在10萬個以下。一般房間的空氣約相當於等級9。溫度、濕度與照明雖然也要管理,但並不是潔淨度的指標。