無塵室與製造設備

在天花板上將濾網與風扇整合並排列,送出潔淨空氣的裝置是下列何者?

  1. AFFU(風扇濾網機組)
  2. BEFEM
  3. COHT
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正確答案:A. FFU(風扇濾網機組)

FFU是將送風風扇與HEPA/ULPA濾網整合的機組,在潔淨室的天花板上排列大量機組,向下吹出潔淨空氣。每個機組都可調整風量,也容易因應佈局變更或局部潔淨度的變更,因此取代以大型風管送風的方式而被廣泛使用。EFEM是設備前面的模組,OHT則是天花板上的搬運車。

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