潔淨室中讓空氣由天花板單向流向地板（下吹流，downflow）的方式，其主要目的為何？

正確答案：A. 將產生的粒子迅速排到地板下，不讓粒子滯留在晶圓周圍

讓通過天花板高效率濾網的潔淨空氣單向吹向地板，人員與設備產生的粒子就不會揚起，而是被帶往地板下方，這樣粒子便不會滯留在晶圓周圍。相較於攪拌室內空氣來稀釋的方式，可得到更高的潔淨度，但因為要推動大量空氣，空調的能耗也會變大。其目的並不是調節室溫或噪音。