無塵室與製造設備
潔淨室的地板材料或作業台使用具導電性(讓靜電逸散的性質)材料的主要理由為何?
- A為了讓地板發亮而更明亮
- B為了防止因帶電產生的靜電放電損壞元件,或粒子被靜電吸引而附著
- C為了通電讓地板變暖
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正確答案:B. 為了防止因帶電產生的靜電放電損壞元件,或粒子被靜電吸引而附著
潔淨室中有許多樹脂製的容器與衣物,而且環境乾燥,容易累積靜電。若帶電的物體或人發生放電(ESD),元件可能損壞,而帶電的晶圓會吸引粒子。結合導電性的地板與作業台、接地的腕帶、導電性的鞋子,將電荷釋放到大地。目的並不是外觀或地板暖氣。
- A. 不是為了外觀。
- B. 正確。是為了不累積靜電。
- C. 不是為了地板暖氣。