無塵室與製造設備

潔淨室的地板材料或作業台使用具導電性(讓靜電逸散的性質)材料的主要理由為何?

  1. A為了讓地板發亮而更明亮
  2. B為了防止因帶電產生的靜電放電損壞元件,或粒子被靜電吸引而附著
  3. C為了通電讓地板變暖
查看答案與解析

正確答案:B. 為了防止因帶電產生的靜電放電損壞元件,或粒子被靜電吸引而附著

潔淨室中有許多樹脂製的容器與衣物,而且環境乾燥,容易累積靜電。若帶電的物體或人發生放電(ESD),元件可能損壞,而帶電的晶圓會吸引粒子。結合導電性的地板與作業台、接地的腕帶、導電性的鞋子,將電荷釋放到大地。目的並不是外觀或地板暖氣。

  • A. 不是為了外觀。
  • B. 正確。是為了不累積靜電。
  • C. 不是為了地板暖氣。
練習這個領域 前往領域頁面

無塵室與製造設備的其他題目

  1. 下列關於HEPA濾網性能的一般定義,何者正確?
  2. 在使用化學放大型光阻的曝光區域,特別嚴格管理氨或胺等鹼性分子態污染的理由為何?
  3. 在半導體工廠中,對供應高純度氣體的不鏽鋼管線內面施以電解研磨(EP)的主要理由為何?
  4. 半導體工廠的潔淨室地板所使用的、呈格子狀開孔的厚混凝土地板(華夫板,waffle slab)的作用,下列何者正確?
  5. 在半導體工廠等精密設施中,依各頻率的振動速度,分級表示地板振動容許程度的指標是下列何者?