在半導體工廠等精密設施中，依各頻率的振動速度，分級表示地板振動容許程度的指標是下列何者？

正確答案：C. VC（Vibration Criteria）曲線

VC曲線是將放置精密設備的地板振動容許值，以各頻帶的振動速度上限，分級訂為VC-A、VC-B……的指標。VC-A為50 µm/s，每進一級上限減半，越後面的級別越嚴格。放置曝光機與電子顯微鏡等的地板需要嚴格的等級，用於建築物的設計與設備設置場所的評估。ISO等級是針對空氣，GHS則是化學品的標示。

• A. ISO等級是空氣潔淨度的指標。
• B. GHS是標示化學品危險有害性的制度。
• C. 正確。是表示地板振動容許程度的指標。