以氮氣置換（沖洗）FOUP內部的主要目的為何？

正確答案：A. 抑制晶圓表面氧化，以及水分、分子態污染的附著

FOUP內若有空氣，在製程之間的等待時間，晶圓表面會氧化，或附著水分與分子態污染。以氮氣沖洗可減少氧氣與水分，維持表面的狀態。尤其還能防止蝕刻後從晶圓釋出的氣體積聚在FOUP內而污染其他晶圓，在微縮化進展的製程中變得很重要。目的並不是增加重量或冷卻。