無塵室與製造設備 為了防止瞬間電壓下降（瞬降）或停電造成製造中晶圓的損失，半導體工廠會導入的設備是下列何者？ AULPA濾網 B不斷電系統（UPS）或瞬降對策裝置 CFOUP 查看答案與解析 正確答案：B. 不斷電系統（UPS）或瞬降對策裝置 半導體製造設備即使只有約0.1秒的電壓下降也可能停機，造成處理中的晶圓不良，或在恢復真空與溫度、重新啟動之前需要很長的時間。由雷擊等造成的瞬降並不罕見，因此重要的設備與設施會設置不斷電系統或瞬降對策裝置，使電力供應不中斷。濾網與FOUP並不是電源的對策。