無塵室與製造設備

相當於舊美國聯邦規格等級100（每1立方英尺中0.5 µm以上的粒子在100個以下）的ISO 14644-1潔淨度等級是下列何者？

  1. AISO等級5
  2. BISO等級1
  3. CISO等級9
查看答案與解析

正確答案：A. ISO等級5

舊美國聯邦規格的等級100，是每1立方英尺（約28.3 L）中0.5 µm以上的粒子在100個以下，換算成每1 m³約為3500個。ISO 14644-1等級5中0.5 µm以上的上限為3520個/m³，所以大致相當。ISO等級每小一級，容許的粒子數就變為1/10，因此等級1非常嚴格，等級9則約等於一般室內。

練習這個領域 前往領域頁面

無塵室與製造設備的其他題目

  1. 下吹流方式的潔淨室中，一般從天花板吹出的風速大約是多少？
  2. 在廠區－維護區（bay-chase）方式的潔淨室中，設備背面的維護空間（chase）其潔淨度的一般處理方式為何？
  3. 從玻璃纖維濾網等釋出，可能造成晶圓非預期摻雜（污染）的元素是下列何者？
  4. 下列何者最接近潔淨室一般的溫度設定值？
  5. 用來測量潔淨室空氣中所含微粒的數量與大小的裝置是下列何者？