隨著電路微縮化的進展，潔淨室中需要管理的粒子大小會如何變化？

正確答案：B. 變小

相對於圖案尺寸而言不可忽視大小的粒子，會造成配線短路或斷線等缺陷。大致上，約為線寬一半的粒子就可能致命，因此隨著微縮化使線寬與間距變小，就必須管理更小的粒子，所要求的潔淨度也變得更嚴格。另一方面，粒子越小越難以偵測，因此量測技術也需要進步。

• A. 微縮化越進展，越小的粒子就越成為問題。
• B. 正確。必須管理到更小的粒子。
• C. 尺寸變小的話，會造成影響的粒子大小也會改變。