什麼是EFEM(設備前端模組)
Equipment Front End Module的簡稱。位於製造設備前端，打開FOUP的蓋子，並在潔淨環境下將晶圓搬入設備內的單元。包含裝載埠與搬運機器人。
日文名稱: EFEM
這個名詞所屬的領域: 無塵室與製造設備
相關名詞
下降氣流 氣態分子汙染(AMC) 微環境 FFU(風扇過濾機組) FOUP HEPA濾網 ISO 14644-1 OHT(天車式無人搬運車) ULPA濾網
Equipment Front End Module的簡稱。位於製造設備前端，打開FOUP的蓋子，並在潔淨環境下將晶圓搬入設備內的單元。包含裝載埠與搬運機器人。
日文名稱: EFEM
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下降氣流 氣態分子汙染(AMC) 微環境 FFU(風扇過濾機組) FOUP HEPA濾網 ISO 14644-1 OHT(天車式無人搬運車) ULPA濾網