什麼是電漿

氣體游離，電子、離子、自由基（中性的活性物種）等混合存在的狀態。用於乾式蝕刻、電漿CVD、灰化等許多製程。

日文名稱: プラズマ

「電漿」出現在1領域的2道練習題中（氧化與擴散等）。

這個名詞所屬的領域: 蝕刻

練習電漿的題目

在薄閘極氧化層的表面，導入以電漿產生之氮的處理稱為什麼？

  1. A驅入
  2. BCMP
  3. C電漿氮化
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正確答案：C. 電漿氮化

電漿氮化是將氮電漿產生的活性氮，在數百 ℃ 左右的較低溫度下導入氧化層的表面附近，形成含氮約 10～20% 的氮氧化膜（SiON）。由於可將氮集中在表面側，因此不會損及 Si/SiO2 介面的特性（遷移率等），即可抑制硼穿透、提高介電常數並使 EOT 變薄。而在熱氮化（NO、N2O 退火）中，氮則會聚集在介面。

解析中的「電漿」

出現「電漿」的題目（2題）

  1. 在薄閘極氧化層的表面，導入以電漿產生之氮的處理稱為什麼？
  2. 關於使用氧自由基的自由基氧化，下列特徵何者正確？

相關名詞

氮氧化矽膜(SiON) 遷移率 EOT(等效氧化層厚度) 退火 自由基 熱氧化 FinFET(鰭式場效電晶體) 3D NAND 天線效應 灰化

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