什麼是佈植劑量
離子佈植時，每單位面積打入的離子數。以cm⁻²為單位表示，由離子束電流與佈植時間決定。
日文名稱: ドーズ量
這個名詞所屬的領域: 離子佈植
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尖峰退火 投影射程 固溶度 法拉第杯 退火 逆向摻雜井 通道效應(Channeling) 暈環佈植(口袋佈植) 雷射退火 電漿摻雜
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