關於乾式蝕刻所使用的「電漿」，下列說明何者正確？

正確答案：B. 已游離、混合有電子、離子與自由基等的氣體狀態

電漿是對氣體施加高頻等電力使電子加速，將原子或分子游離後的狀態，其中混合有電子、離子、反應性高的自由基以及中性分子。也被稱為繼固體、液體、氣體之後的「第四態」。蝕刻設備中的電漿，游離的比例低至0.01%以下左右，氣體溫度保持低溫，只有電子具有相當於數萬℃的能量，屬於「低溫電漿」。

• A. 電漿不是液體。
• B. 正確。是已游離的氣體狀態。
• C. 電漿不是固體。