孔洞或溝槽的深度與寬度（開口直徑）的比值。越高，加工與成膜越困難。3D NAND的記憶孔可達數十以上。
日文名稱: アスペクト比
這個名詞所屬的領域: 蝕刻
天線效應 灰化 自由基 自偏壓 非等向性蝕刻 乾式蝕刻 終點偵測 硬遮罩 等向性蝕刻 腔體調適(Seasoning)
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