結合電漿中的反應性粒子與經電場加速之離子來進行蝕刻的乾式蝕刻。可進行垂直的非等向性加工。
日文名稱: RIE(反応性イオンエッチング)
這個名詞所屬的領域: 蝕刻
天線效應 灰化 自由基 自偏壓 非等向性蝕刻 乾式蝕刻 深寬比 終點偵測 硬遮罩 等向性蝕刻
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