關於一邊開關電漿的高頻功率一邊蝕刻的脈衝電漿，其優點下列何者正確？

正確答案：C. 容易控制電子溫度與離子能量，容易抑制充電與損傷

在脈衝電漿中，於功率關閉的數十µs期間，電子溫度會急遽下降並產生負離子，晶圓表面的帶電因而容易被中和。藉由開啟與關閉時間之比（工作週期）及頻率，也容易調整離子能量與自由基種類的比例，因此在先進製程的加工中，被用作抑制缺口效應與電子遮蔽所造成的形狀異常，以及閘極絕緣膜損傷的手段。