什麼是PECVD(電漿輔助化學氣相沉積)

以電漿分解原料氣體來沉積薄膜的CVD。可在比熱CVD更低的溫度下成膜，用於導線製程的絕緣膜等。

日文名稱: PECVD(プラズマCVD)

這個名詞所屬的領域: 薄膜沉積（CVD與PVD）