在電容耦合型等電漿設備中，晶圓側電極自然帶有負的直流電位，使離子朝晶圓加速的現象稱為什麼？

正確答案：C. 自偏壓（self-bias）

在施加高頻功率的電極上，輕且易移動的電子比離子更多地流入，因此透過電容器相連的電極平均而言帶有負的直流電位（自偏壓，數十至數百V）。這個電位差使電漿中的正離子幾乎垂直地朝晶圓加速，用於非等向性蝕刻。改變高頻功率會改變自偏壓，因而可以調整離子的能量。

• A. 霍爾效應是在磁場中於與電流垂直的方向產生電壓的現象。
• B. 席貝克效應是因溫差而產生電壓的現象。
• C. 正確。是因電子流入的差異而產生負電位的現象。