使用氧電漿等，將蝕刻或離子佈植後不再需要的光阻灰化並去除的步驟。
日文名稱: アッシング
這個名詞所屬的領域: 蝕刻
天線效應 自由基 自偏壓 非等向性蝕刻 乾式蝕刻 深寬比 終點偵測 硬遮罩 等向性蝕刻 腔體調適(Seasoning)
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