什麼是矽烷(SiH4)
矽與氫的化合物氣體。用於複晶矽與氧化矽膜、氮化矽膜CVD的原料。因為會在空氣中自燃，需嚴格管理。
日文名稱: シラン(SiH4)
「矽烷(SiH4)」出現在1領域的1道練習題中（矽晶圓等）。
這個名詞所屬的領域: 製程材料（氣體與藥液）
練習矽烷(SiH4)的題目
高純度多晶矽的代表性製造方法是哪一種？
- A博世(Bosch)法
- B西門子法(以三氯矽烷的氫還原進行沉積)
- C鑲嵌(Damascene)法
解析中的「矽烷(SiH4)」
西門子法是使純度約98%的金屬矽與氯化氫反應成三氯矽烷(SiHCl3，沸點約32 ℃)，經蒸餾提高純度後，在加熱至約1100 ℃的矽棒上使其與氫反應，沉積出高純度的矽。
高純度多晶矽的代表性製造方法是哪一種？
出現「矽烷(SiH4)」的題目（1題）
相關名詞
西門子法 CZ法(柴可拉斯基法) 前驅物 特殊材料氣體 砷化氫(AsH3) 超純水 質量流量控制器(MFC) 磷化氫(PH3) NF3(三氟化氮) TMAH(氫氧化四甲基銨)