在蝕刻所使用的一般電漿中，關於離子與自由基的數量關係，下列何者正確？

正確答案：B. 自由基遠多於離子

在電漿中，分子以較低的能量解離成為自由基，比游離成為離子更容易發生，而且自由基不帶電荷，不會被吸引到壁上，壽命也較長。因此自由基的密度一般比離子高2～3個數量級以上。其分工是：自由基擔任化學反應的主角，數量較少的離子則以轟擊促進反應並決定方向。

• A. 生成的難易度與壽命不同，所以數量並不相同。
• B. 正確。一般而言自由基比離子多出好幾個數量級。
• C. 在一般條件下離子較少。