プラズマ란?
ぷらずま
気体が電離して、電子、イオン、ラジカル(中性の活性種)などが混ざった状態。ドライエッチングやプラズマCVD、アッシングなど、多くの工程で使われる。
일본어 명칭: プラズマ
분야: 식각
관련 용어
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング 終点検出 ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング
ぷらずま
気体が電離して、電子、イオン、ラジカル(中性の活性種)などが混ざった状態。ドライエッチングやプラズマCVD、アッシングなど、多くの工程で使われる。
일본어 명칭: プラズマ
분야: 식각
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング 終点検出 ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング