什麼是前驅物
在CVD或ALD中，經反應成為目標薄膜的原料化合物。例如TEOS或有機金屬化合物。
日文名稱: プリカーサ(前駆体)
這個名詞所屬的領域: 製程材料（氣體與藥液）
相關名詞
矽烷(SiH4) 特殊材料氣體 砷化氫(AsH3) 超純水 質量流量控制器(MFC) 磷化氫(PH3) NF3(三氟化氮) TMAH(氫氧化四甲基銨)
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日文名稱: プリカーサ(前駆体)
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