不使用藥液，而以電漿或氣體去除薄膜的方法。結合離子轟擊可進行非等向性加工，是形成微細圖案不可或缺的技術。
日文名稱: ドライエッチング
這個名詞所屬的領域: 蝕刻
天線效應 灰化 自由基 自偏壓 非等向性蝕刻 深寬比 終點偵測 硬遮罩 等向性蝕刻 腔體調適(Seasoning)
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