在電漿蝕刻中，長配線等成為天線的導體會收集電荷，損傷相連的閘極氧化層，這種現象稱為什麼？

正確答案：C. 天線效應（電漿充電損傷）

暴露於電漿中的配線或閘極電極會收集電荷，若這些電荷以穿隧電流的形式流入相連閘極的薄氧化層，氧化層就會劣化或被破壞。導體的面積（天線）越大，收集的電荷越多，影響也越大，因此在佈局上設有限制配線面積與閘極面積之比的天線規則，對違反之處會插入釋放電荷的保護二極體，或更換配線層。