什麼是光罩(Reticle)
描有電路圖案的曝光用原版。在石英玻璃基板上形成遮光膜圖案(EUV則為反射式)。縮小投影曝光設備的光罩,製作為晶圓上圖案的4倍大小。
日文名稱: フォトマスク(レチクル)
「光罩(Reticle)」出現在1領域的1道練習題中(新世代記憶體等)。
這個名詞所屬的領域: 微影
描有電路圖案的曝光用原版。在石英玻璃基板上形成遮光膜圖案(EUV則為反射式)。縮小投影曝光設備的光罩,製作為晶圓上圖案的4倍大小。
日文名稱: フォトマスク(レチクル)
「光罩(Reticle)」出現在1領域的1道練習題中(新世代記憶體等)。
這個名詞所屬的領域: 微影
嵌入式快閃記憶體因浮動閘極的形成等,需要追加 10 片以上的光罩,在 28 nm 前後之後的世代,以及與 High-k/金屬閘極的組合中,已難以實現。
MRAM 作為微控制器等的嵌入式非揮發性記憶體而受到矚目,其理由之一,下列何者正確?MRAM 微控制器 非揮發性記憶體 浮動閘極 High-k/金屬閘極 磁性穿隧接面(MTJ) 晶圓代工廠 化學放大型光阻 正型光阻 光阻