什麼是光罩(Reticle)

描有電路圖案的曝光用原版。在石英玻璃基板上形成遮光膜圖案(EUV則為反射式)。縮小投影曝光設備的光罩,製作為晶圓上圖案的4倍大小。

日文名稱: フォトマスク(レチクル)

「光罩(Reticle)」出現在1領域的1道練習題中(新世代記憶體等)。

這個名詞所屬的領域: 微影

練習光罩(Reticle)的題目

MRAM 作為微控制器等的嵌入式非揮發性記憶體而受到矚目,其理由之一,下列何者正確?

  1. A先進邏輯製程中嵌入式快閃記憶體的製造變得困難,而可在後段製程製作的 MRAM 成為替代候選
  2. B比 DRAM 容量大且便宜
  3. C斷電後資料會消失
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正確答案:A. 先進邏輯製程中嵌入式快閃記憶體的製造變得困難,而可在後段製程製作的 MRAM 成為替代候選

嵌入式快閃記憶體因浮動閘極的形成等,需要追加 10 片以上的光罩,在 28 nm 前後之後的世代,以及與 High-k/金屬閘極的組合中,已難以實現。MRAM 可在後段製程中途製作 MTJ,追加的光罩也只要數片,因此台積電與三星等晶圓代工廠在 22 nm 以下提供嵌入式 MRAM。在車用微控制器等的採用持續增加。

解析中的「光罩(Reticle)」

出現「光罩(Reticle)」的題目(1題)

  1. MRAM 作為微控制器等的嵌入式非揮發性記憶體而受到矚目,其理由之一,下列何者正確?

相關名詞

MRAM 微控制器 非揮發性記憶體 浮動閘極 High-k/金屬閘極 磁性穿隧接面(MTJ) 晶圓代工廠 化學放大型光阻 正型光阻 光阻

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