什麼是掃描式曝光機

對狹縫狀的光，使光罩與晶圓同步移動並曝光的曝光設備。是現今量產曝光設備的主流，一般將光罩圖案縮小為1/4投影。

日文名稱: スキャナー

這個名詞所屬的領域: 微影