微影
在EUV光罩中，吸收體圖案的厚度相對於波長已不可忽略，斜向入射的光會形成陰影等而影響影像，這種現象稱為什麼？
- A光暈（blooming）
- B光罩3D效應
- C負載效應（loading effect）
查看答案與解析
正確答案：B. 光罩3D效應
EUV光罩是反射式，光以傾斜約6°的角度入射。吸收體的厚度為50～70 nm，比波長13.5 nm更厚，因此吸收體的側面會形成陰影或使相位改變，造成尺寸與位置依圖案方向而偏移，最佳對焦位置也會隨圖案而異（光罩3D效應）。目前正開發吸收率高而可做得更薄的吸收體材料、相位移型的EUV光罩，並以OPC進行修正。
- A. 光暈（blooming）是影像感測器中電荷溢出的現象。
- B. 正確。是光罩立體結構所造成的影響。
- C. 負載效應是處理速度隨加工面積而改變的現象。