什麼是光罩護膜

隔著一定間隔張設在光罩上方的薄膜。可防止異物直接附著在光罩面上，附著在護膜上的異物因焦點不對而不易被轉印。

日文名稱: ペリクル

這個名詞所屬的領域: 微影