以傾斜方向照明光罩，藉此提高細微圖案解析度的技術是下列何者？

正確答案：B. 離軸照明（斜向入射照明）

在細微的週期性圖案中，繞射光會以大角度擴散而進不了透鏡，只靠0階光無法成像。若讓光從斜向照射，就能同時將0階光與單側的1階繞射光收進透鏡，理論上可解析的間距能細到約一半，焦深也會變深。有環形照明、雙極與四極照明等，目前則使用能以像素為單位自由設定光源形狀的照明系統。