微影
製作光罩時使用的、已預先在石英玻璃基板上形成遮光膜等的材料稱為什麼？
- A光罩基板（mask blanks）
- B晶圓
- C顆粒（pellet）
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正確答案：A. 光罩基板（mask blanks）
光罩基板是在低缺陷且平坦度高的石英玻璃基板（6英吋見方、厚度約6 mm）上，形成鉻或MoSi等遮光與相位移膜（EUV用則為多層膜與吸收膜），並塗佈光阻的材料。以電子束在其上描繪圖案，再經蝕刻就製成光罩。尤其是EUV用的基板，對缺陷少的要求特別嚴格，HOYA等日本企業擁有很高的市占率。
- A. 正確。是光罩的原料。
- B. 晶圓是用來製作元件的矽圓盤。
- C. 顆粒（pellet）是成形為粒狀的材料。