微影
不使用光罩，而以電子束直接在晶圓上的光阻描繪圖案的方式，其特徵下列何者正確？
- A是量產中最快速的方式
- B不需要光罩，能描繪非常細微的圖案，但描繪耗時，不適合大量生產
- C無法描繪圖案
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正確答案：B. 不需要光罩，能描繪非常細微的圖案，但描繪耗時，不適合大量生產
電子束直寫使用波長在nm以下的電子，沒有光繞射的極限，不用光罩就能形成10 nm以下的非常微細圖案。但因為是像一筆畫般逐一描繪圖案，300 mm晶圓一片有時需耗費數日，不適合大量生產。用於研究開發、少量試作、光罩的製作，以及奈米壓印模具的製作等。
- A. 因為是像一筆畫般描繪，量產的速度會很慢。
- B. 正確。不需要光罩，但描繪耗時。
- C. 電子束可以描繪圖案。