在光罩上方隔著一定間隔所張設的薄膜（護膜，pellicle），其作用是下列何者？

正確答案：C. 防止異物直接附著在光罩表面，即使附著在護膜上也因無法對焦而不易被轉印

光罩一旦附著異物，使用該光罩曝光的所有晶圓的所有曝光區都會被轉印上缺陷。護膜是離光罩約6 mm、張設在框架上、厚度1 µm以下的透明薄膜，異物會附著在護膜上，因此無法對焦而變得模糊，不易轉印到晶圓上。EUV用的護膜則開發出可讓EUV光穿透約90%、耐高溫的數十nm極薄膜（複晶矽或奈米碳管等）。