Nederlands
Menu

MEMS en sensoren

Leer met meerkeuzevragen over de kenmerken van MEMS, capacitieve versnellingssensoren, opofferlaagetsen, het piëzoresistieve effect en hallsensoren.

Oefen 10 vragenWillekeurige vragen uit dit onderwerp · ongeveer 5 minuten Dit onderwerp oefenenAlle vragen over dit onderwerp in willekeurige volgorde Zwakke vragenAlleen de laatst fout beantwoorde vragen opnieuw oefenen

MEMS en sensoren: kernpunten

MEMS (micro-elektromechanische systemen) zijn componenten waarin met micro-fabricagetechnieken uit de halfgeleiderindustrie microscopisch kleine mechanische structuren en elektronische schakelingen worden gerealiseerd. Ze worden veel gebruikt in versnellingssensoren, gyroscopen, microfoons en druksensoren van smartphones.

Leer het opofferlaagetsen, waarmee bewegende structuren vrij komen te hangen, en de principes waarmee verplaatsing, spanning of magnetisch veld in een elektrisch signaal worden omgezet (capaciteit, piëzoresistief effect, halleffect).

Alle vragen over MEMS en sensoren (50)
  1. Welke uitspraak over MEMS is juist?
  2. Wat is het detectieprincipe van een capacitieve MEMS-versnellingssensor?
  3. Wat is het doel van opofferingslaagetsen (sacrificial layer etching) bij de productie van MEMS?
  4. Welke uitspraak over het piëzoresistieve effect, toegepast in onder meer halfgeleider-druksensoren, is juist?
  5. Wat wordt hoofdzakelijk gedetecteerd door een sensor die het Hall-effect gebruikt (Hall-element)?
  6. Welke kracht gebruikt een trillende MEMS-gyroscoop om de hoeksnelheid te detecteren?
  7. Welke uitspraak over Deep RIE (Bosch-proces), gebruikt bij de productie van MEMS, is juist?
  8. Wat is de gangbare methode waarmee een MEMS-microfoon geluid in een elektrisch signaal omzet?
  9. Welke uitspraak over de temperatuurafhankelijkheid van de voorwaartse spanning van een silicium-pn-overgang bij constante stroom is juist?
  10. Welke uitspraak over het werkingsprincipe van de DMD (Digital Mirror Device) in projectors is juist?
  11. Welke is de gangbare methode om inkt uit te stoten bij een inkjetprintkop die met MEMS-technologie is gemaakt?
  12. Welk verschijnsel gebruikt een BAW-filter, dat wordt toegepast als hoogfrequentfilter in onder meer smartphones?
  13. Wat is de belangrijkste reden om bewegende delen van bijvoorbeeld MEMS-gyroscopen in vacuüm af te sluiten?
  14. Hoe heet het verschijnsel waarbij een klein bewegend deel van MEMS tijdens de productie of het gebruik door onder meer oppervlaktespanning aan het substraat blijft plakken en niet meer beweegt?
  15. Wat is het detectieprincipe van een halfgeleider-gassensor op basis van bijvoorbeeld tinoxide?
  16. Wat detecteert de sensor die in het elektronische kompas van een smartphone wordt gebruikt?
  17. Welke informatie kan met de MEMS-barometer van een smartphone uit veranderingen in luchtdruk worden afgeleid?
  18. Waarom worden SOI-wafers veel gebruikt bij de productie van MEMS?
  19. Hoe heet de methode waarmee silicium en glas bij het afsluiten van onder meer MEMS onder verhitting en aangelegde spanning worden gebonden?
  20. Welk MEMS-component wordt gebruikt om laserlicht te scannen, bijvoorbeeld in LiDAR voor auto's?
  21. Welke methode verhoogt de resonantiefrequentie van een MEMS-structuur die uit een veer en een massa bestaat?
  22. Welke MEMS-sensor wordt al lang gebruikt om te bepalen of een airbag in een auto wordt geactiveerd?
  23. Welke methode is geschikt om stiction te voorkomen wanneer een opofferingslaag van SiO2 wordt verwijderd om een MEMS-structuur los te maken?
  24. Welke MEMS-bewerkingsmethode maakt bewegende structuren door op een substraat gestapelde dunne films te bewerken?
  25. Welke uitspraak over het combineren van een MEMS-sensor met zijn signaalverwerkingsschakeling is juist?
  26. Wat is de juiste reden dat een MEMS-versnellingssensor ook in rust een versnelling van ongeveer 1 G detecteert?
  27. Hoe heet de verwerking waarbij informatie van onder meer versnellingssensor, gyroscoop en magnetometer wordt gecombineerd om een nauwkeurigere oriëntatie of beweging te bepalen?
  28. Welk voordeel van MEMS-oscillatoren, die soms in plaats van kwartskristallen als kloksbron worden gebruikt, is juist?
  29. Welke MEMS-sensor meet het debiet doordat de warmte van een verwarmingselement door de gasstroom wordt meegevoerd?
  30. Welk voordeel van een RF MEMS-schakelaar, die hoogfrequente signalen schakelt door mechanisch contact te openen en te sluiten, is juist?
  31. Welke temperatuursensor maakt gebruik van de eigenschap dat de elektrische weerstand sterk met de temperatuur verandert?
  32. Welke is de meest passende ordegrootte voor de afmetingen van bewegende structuren die met MEMS worden gemaakt?
  33. Wat is het principe van de optische sensor waarmee onder meer smartwatches de hartslag aan de pols meten?
  34. Welke sensor gebruikt een smartphone om de schermhelderheid automatisch aan de omgevingshelderheid aan te passen?
  35. Wat is het gangbare principe van de sensor die in smartphones wordt gebruikt om het scherm uit te schakelen en foutieve bediening te voorkomen wanneer het gezicht tijdens een gesprek dichtbij komt?
  36. Welke uitspraak over het aandrijfprincipe van de kamvormige actuator (comb drive) die als MEMS-actuator wordt gebruikt, is juist?
  37. Welk component gebruikt akoestische golven die zich langs het oppervlak van een piëzo-elektrisch substraat voortplanten en wordt toegepast als hoogfrequentfilter in onder meer smartphones?
  38. Welke sensor, die een materiaal gebruikt waarin bij temperatuurverandering lading ontstaat, wordt veel toegepast als bewegingsmelder die de verlichting inschakelt wanneer iemand nadert?
  39. Welk voorbeeld van energy harvesting (energie uit de omgeving) met MEMS is juist?
  40. Welke technologie maakt kleine kanalen op een chip en voert met weinig vloeistof chemische analyses of onderzoeken uit?
  41. Wat is het principe van de NDIR-gassensor die veel wordt gebruikt voor het meten van de CO2-concentratie in binnenruimten?
  42. Welk met MEMS gemaakt ultrasoon element wordt onder meer gebruikt voor vingerafdruksensoren in het scherm van smartphones en voor medische echografie?
  43. Welk probleem treedt op wanneer een dunne film zoals polysilicium die voor de structuurlaag bij oppervlaktemicrobewerking wordt gebruikt grote restspanning bevat?
  44. Hoeveel keer zo groot wordt bij een MEMS-elektrostatische actuator de elektrostatische aantrekkingskracht tussen de elektroden ongeveer als de spanning over twee parallelle elektroden wordt verdubbeld? (De afstand tussen de elektroden verandert niet.)
  45. Welke overweging is juist bij het kiezen van het meetbereik (bijvoorbeeld ±2 G en ±16 G) in de specificaties van een MEMS-versnellingssensor?
  46. Hoe heet het verschijnsel waarbij bij een elektrostatische actuator met parallelle platen de beweegbare elektrode, als de spanning wordt verhoogd en een bepaalde positie wordt overschreden, plotseling naar de vaste elektrode wordt getrokken en blijft plakken?
  47. Welke methode wordt veel gebruikt om de bias-stabiliteit (langzame variatie van de uitgang) van een MEMS-gyroscoop te beoordelen?
  48. Hoe heet de demping die ontstaat doordat het gas tussen een beweegbare plaat en een zeer nabij vast oppervlak wordt weggedrukt wanneer de plaat daarheen beweegt?
  49. Welke ruis, die een van de resolutiegrenzen vormt bij zeer kleine MEMS-versnellingssensoren en -gyroscopen, ontstaat doordat de massa door thermische wisselwerking met omringende gasmoleculen willekeurig beweegt?
  50. Welke uitspraak beschrijft juist de methode om zeer kleine massa's te detecteren door gebruik te maken van het feit dat de resonantiefrequentie verandert wanneer stof zich op het oppervlak van een kleine vrijdragende balk of een kwartskristal hecht?

Andere onderwerpen in Componenten