MEMS en sensoren
Welke uitspraak over het combineren van een MEMS-sensor met zijn signaalverwerkingsschakeling is juist?
- ACombineren is niet mogelijk
- BZe moeten altijd op dezelfde chip zijn geïntegreerd
- CZe kunnen op dezelfde chip worden geïntegreerd, of als aparte chips in één behuizing worden geplaatst
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Ze kunnen op dezelfde chip worden geïntegreerd, of als aparte chips in één behuizing worden geplaatst
Wanneer MEMS en signaalverwerkingsschakeling op dezelfde chip worden gemaakt, is de parasitaire capaciteit klein en kan het geheel kleiner worden, maar beide processen moeten verenigbaar zijn, wat ingewikkeld is. Er wordt ook veel gebruikgemaakt van chips die elk met hun optimale proces zijn gemaakt en naast of op elkaar in één behuizing worden geplaatst; de meeste sensoren voor smartphones gebruiken deze aanpak. Tegenwoordig wordt ook een MEMS-wafer aan een CMOS-wafer gebonden en zo geïntegreerd.