MEMS en sensoren

Welke is de meest passende ordegrootte voor de afmetingen van bewegende structuren die met MEMS worden gemaakt?

  1. AEnkele meters
  2. BEnkele micrometers tot enkele millimeters
  3. CEnkele picometers
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Enkele micrometers tot enkele millimeters

MEMS is een technologie waarmee mechanische structuren van micrometer- tot millimeterafmeting (veren, massa's, membranen, spiegels enz.) samen met elektronische schakelingen worden gemaakt; de chip van een versnellingssensor is bijvoorbeeld 1 tot 2 mm in het vierkant en de spleet van het bewegende deel enkele µm. Op deze schaal zijn oppervlaktekrachten (elektrostatische kracht, oppervlaktespanning) relatief sterk ten opzichte van het gewicht, zodat een ander ontwerp nodig is dan bij gewone machines. Nog kleinere mechanische structuren op nanometerschaal heten NEMS.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over MEMS en sensoren

  1. Wat is het principe van de optische sensor waarmee onder meer smartwatches de hartslag aan de pols meten?
  2. Welke sensor gebruikt een smartphone om de schermhelderheid automatisch aan de omgevingshelderheid aan te passen?
  3. Wat is het gangbare principe van de sensor die in smartphones wordt gebruikt om het scherm uit te schakelen en foutieve bediening te voorkomen wanneer het gezicht tijdens een gesprek dichtbij komt?
  4. Welke uitspraak over het aandrijfprincipe van de kamvormige actuator (comb drive) die als MEMS-actuator wordt gebruikt, is juist?
  5. Welk component gebruikt akoestische golven die zich langs het oppervlak van een piëzo-elektrisch substraat voortplanten en wordt toegepast als hoogfrequentfilter in onder meer smartphones?