MEMS en sensoren
Welke is de meest passende ordegrootte voor de afmetingen van bewegende structuren die met MEMS worden gemaakt?
- AEnkele meters
- BEnkele micrometers tot enkele millimeters
- CEnkele picometers
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Enkele micrometers tot enkele millimeters
MEMS is een technologie waarmee mechanische structuren van micrometer- tot millimeterafmeting (veren, massa's, membranen, spiegels enz.) samen met elektronische schakelingen worden gemaakt; de chip van een versnellingssensor is bijvoorbeeld 1 tot 2 mm in het vierkant en de spleet van het bewegende deel enkele µm. Op deze schaal zijn oppervlaktekrachten (elektrostatische kracht, oppervlaktespanning) relatief sterk ten opzichte van het gewicht, zodat een ander ontwerp nodig is dan bij gewone machines. Nog kleinere mechanische structuren op nanometerschaal heten NEMS.