Welk met MEMS gemaakt ultrasoon element wordt onder meer gebruikt voor vingerafdruksensoren in het scherm van smartphones en voor medische echografie?

Antwoord: C. PMUT/CMUT (micromachined ultrasonic transducer)

PMUT (piëzo-elektrisch) en CMUT (capacitief) zijn met MEMS-technologie gemaakte elementen voor het zenden en ontvangen van ultrageluid; een dun membraan wordt in trilling gebracht om ultrageluid uit te zenden en het teruggekaatste ultrageluid wordt gedetecteerd. In vergelijking met conventionele elementen van dikke piëzo-elektrische keramiek kunnen met halfgeleiderprocessen veel elementen in arrays met kleine steek worden geplaatst en met schakelingen worden geïntegreerd. Ze worden gebruikt in ultrasone vingerafdruksensoren in smartphoneschermen, echoapparaten ter grootte van een handpalm en afstandssensoren.