MEMS en sensoren

Welke uitspraak over MEMS is juist?

  1. AEen component waarin met halfgeleider-microfabricage kleine mechanische structuren en elektronische schakelingen zijn gecombineerd
  2. BEen opslagapparaat met grote capaciteit op basis van magneetband
  3. CEen beeldscherm dat uitsluitend uit een glassubstraat bestaat
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Een component waarin met halfgeleider-microfabricage kleine mechanische structuren en elektronische schakelingen zijn gecombineerd

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) zijn componenten waarin met halfgeleiderprocessen zoals laagafzetting, lithografie en etsen kleine mechanische structuren met bewegende delen, zoals veren, massa's, membranen en spiegels, worden gemaakt en als sensor of actuator worden gebruikt. Omdat ze per wafer in grote aantallen tegelijk kunnen worden gemaakt, zijn ze klein en goedkoop; één smartphone bevat meerdere MEMS, zoals voor versnelling, gyroscoop, luchtdruk en microfoon.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over MEMS en sensoren

  1. Wat is het detectieprincipe van een capacitieve MEMS-versnellingssensor?
  2. Wat is het doel van opofferingslaagetsen (sacrificial layer etching) bij de productie van MEMS?
  3. Welke uitspraak over het piëzoresistieve effect, toegepast in onder meer halfgeleider-druksensoren, is juist?
  4. Wat wordt hoofdzakelijk gedetecteerd door een sensor die het Hall-effect gebruikt (Hall-element)?
  5. Welke kracht gebruikt een trillende MEMS-gyroscoop om de hoeksnelheid te detecteren?