MEMS en sensoren
Welke uitspraak over het piëzoresistieve effect, toegepast in onder meer halfgeleider-druksensoren, is juist?
- AHet effect waarbij de elektrische weerstand van een materiaal verandert onder mechanische spanning
- BHet effect waarbij belichting een spanning opwekt
- CHet effect waarbij een magnetisch veld de stroomrichting afbuigt
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Het effect waarbij de elektrische weerstand van een materiaal verandert onder mechanische spanning
Bij silicium verandert onder mechanische spanning de bandstructuur van het kristal, waardoor de soortelijke weerstand tientallen malen sterker verandert dan bij metalen rekstrookjes (piëzoresistief effect). Als op de rand van een dun membraan dat onder druk vervormt vier weerstanden worden aangebracht en de weerstandsverandering met een Wheatstone-brug wordt gedetecteerd, wordt druk omgezet in een elektrisch signaal. Het wordt gebruikt voor motor- en bandenspanning van auto's, bloeddrukmeters en barometers; temperatuurcompensatie is de sleutel in het ontwerp.