MEMS en sensoren
Wat is de belangrijkste reden om bewegende delen van bijvoorbeeld MEMS-gyroscopen in vacuüm af te sluiten?
- AOm de luchtweerstand (demping) te verminderen, de trilling groot te houden en de gevoeligheid te verhogen
- BOm de bewegende delen zwaarder te maken
- COm de kleur van de sensor te veranderen
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Om de luchtweerstand (demping) te verminderen, de trilling groot te houden en de gevoeligheid te verhogen
Bij een trillende MEMS-gyroscoop geldt: hoe groter en stabieler het bewegende deel trilt, hoe groter het signaal door de Corioliskracht en hoe hoger de gevoeligheid. Lucht verzwakt de trilling door weerstand (demping), dus worden wafers op elkaar gebonden en het MEMS-gedeelte onder vacuüm afgesloten, waardoor de Q-factor van de resonantie stijgt tot enkele duizenden tot tienduizenden. Een versnellingssensor heeft daarentegen een passende demping nodig en wordt met gas gevuld; de afsluitdruk wordt per toepassing gekozen.